如果六氟化硫气体纯度较低，其绝缘强度将大大降低，在电气绝缘中使用时容易被高压击穿。 那么六氟化硫气体纯度不纯的原因是什么呢？
（1）六氟化硫的纯度不纯，出厂时含有高毒性、低氟化硫和氟化氢等有毒气体。 众所周知，目前化学工业主要通过简单的硫磺和过量的气态氟直接反应生成六氟化硫，即 s + 3f2→ sf6 + q （热）。 粗产品含有多种杂质。 由于原料纯度、生产设备材料和工艺条件等因素的影响，杂质的组成和含量有很大差异。 总杂质含量可达5％ 。 它由 s2，f2，sf2和 sf4等氟化硫化合物，so2，f2等氟化硫氧化物，以及 hf，of2，cf4，n2和 o2等杂质组成。 为了净化粗产品中的杂质，sf6气体的合成还需要经过水洗、碱洗、热解（去除有毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷冻、蒸馏、净化等一系列净化工艺，产品纯度达到99.8％ 以上。 气缸用压缩机加压，然后装入液体，冷却到摄氏零下80度。 当使用减压释放，气体进入电气设备。
除了生成的合成过程中加入的杂质，气体填充物可以是用少量的混合可具有一些或所有有毒物质与空气，水，矿物油，和杂质。因此，为了确保六氟化硫的质量和纯度，六氟化硫设备的国际电工委员会（IEC），许多国家都制定质量标准，并要求制造商在交货时提供无毒的生物测试证书。
（2）电器企业技术进行设备内的SF6气体在高温电弧故障发生具有重要影响作用时而可以通过产生的某些有毒产物。
例如：亚硫生成四氟化，氟化硫等有毒物质亚硫酰氟：SF6气体和在电弧与氧分解反应的。
（3）电器企业技术教学设备内的六氟化硫气体进行工作分解物与其内的水分不断学习发生经济发展学生化学物质反应而生成一个具有中国某些有毒产物。 例如：SF6气体通过分解物与水的继发性反应我们可以直接生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等
电气设备中的SF6气体和分解器与电极（Cu-W合金）和金属材料（AL、Cu）反应生成某些有毒产品。 固体粉末如SF6气体和分解器与电极或其他材料ALF3（固体粉末）CuF2（固体粉末）反应））
（五）电气设备中的 sf6气体及其分解产物与绝缘材料发生化学反应，形成有毒物质。 例如，sif4和 si （ch3）2f2可以通过使用含硅的环氧酚醛玻璃纤维片材（棒材、管材）和其他绝缘组件，或者使用石英砂、玻璃作为填料、环氧浇注件、模压件、瓷瓶、硅橡胶、硅脂等来生产。
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