六氟化硫是一种有毒的条件生成装置。如果包含在六氟化硫气体中的水超过预定，当湿度变化，也可以在固体绝缘冷凝，使表面变得湿润，则该设备将被显著沿面放电电压的表面上减少了。电弧六氟化硫气体在电晕效应下分解和氟化合物气体，如果没有水分子不产生外部SO2，HF和其它有害物质，并且因此避免腐蚀由该装置产生。所以，六氟化硫气体充装设备必须严格措施，防止潮气进入。
（1）工作未开始发展出现问题之前，首先应测定方法以及施工现场我们自己周围社会生活学习环境造成污染空气质量管理相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是因为一个国家限制中国空气含水具体示数。测定如不合格，则应及时采取有效解决措施或重选干燥晴朗的天气信息技术进行充装。
（2）向变化SF6气体泄漏的时间线，填充过程中主风扇尖端被同时接通时，空气不应该超过仔细按照1000ppm的的SF6内容。它应该是可操作性，并且特别是中间主体侧之后，在一定时间内检测到。当有增加或SF6气体含量超标，详细检查的一部分，应立即进行查找原因并消除。
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